手套箱常见故障及解决办法
1、清洗时箱压持续增加
原因:清洗阀门没有打开、进气压力太大、管路不畅通造成。
办法:①保证管路畅通,不要折弯;②清洗时,箱内相对压力持续低于0.5毫巴。
2、净化柱主阀故障
原因:①工作气压力不足0.5Mpa;②主阀信号反馈故障。
办法:①更换工作气瓶,或检查减压阀副表压力在0.5Mpa;②检查主阀信号开关。
3、循环不能开启
原因:风机变频器低压或高压保护。
办法:待电压稳定后,关机隔1分钟后重启。
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真空手套箱
手套箱包含真空手套箱、有机玻璃手套箱、净化手套箱,所谓真空手套箱其实就是刚刚引进手套箱概念到国内时,国内批厂商命名的,就是手套箱需要真空泵抽取过渡舱气体后放入手套箱,箱体气氛也可以被真空泵抽取的意思,可以带惰性气体纯化系统也可以是不带气体纯化系统简单的箱体;有机玻璃手套箱一般是不带气体净化系统的透明箱体,里面填充99.999%纯度氮气,一般箱内气氛不能达到<10ppm的纯度,不带气氛检测、吹扫过称需消耗大量氮气;净化手套箱一般是带气体纯化系统和密闭箱体操作空间的手套箱,可达到的环境气氛纯度高,一般品质过硬的厂商,水氧指标都能控制到<1ppm的高纯状态。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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